流量控制器

发布时间：  2013/6/18 9:19:54

流量范围： 50～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀： 常闭，电磁隔膜阀
控制范围： 2～100%FS
反应时间： 0～100%，小于等于1秒
精度： ±1.5%以内
线性： ±0.5%以内
重复性： ±0.2%以内
使用压差： 范围≤5SLM时，49～294KPA
5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA
压力限制： 980KPA
泄露率： 1 × 10–8 Pa m3/second 或更小
操作温度： 5～45°C
接触介质的材质： 本体: SUS316L
隔膜: Viton TM (可选: Noeprene TM)
阀座: Viton TM (可选: Noeprene TM)
密封材料: Byton TM (可选: 氯丁橡胶)
连接： 1/4SWL，可选1/8SWL，1/4VCR和1/4RC
电气连接： 9针插座
控制信号： 0-5VDC
输出信号： 0-5VDC
电源地+15 VDC (±5%) 100 mA–15 VDC (±5%) 200 mA