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挡板式流量控制器
BL-FRW挡板式流量控制器
简介:适用于中小管道液体流量的控制,可靠性高....更多
 
质量流量控制器的技术参数
发布时间:  2013/6/18 9:19:54

流量范围: 50~500SCCM,1~5SLM,10~20SLM
控制阀: 常闭,电磁隔膜阀
控制范围: 2~100%FS
反应时间: 0~100%,小于等于1秒
精度: ±1.5%以内
线性: ±0.5%以内
重复性: ±0.2%以内
使用压差: 范围≤5SLM时,49~294KPA
5SLM <范围≤20SLM时,98~294KPA
压力限制: 980KPA
泄露率: 1 × 10–8 Pa m3/second 或更小
操作温度: 5~45°C
接触介质的材质: 本体: SUS316L
隔膜: Viton TM (可选: Noeprene TM)
阀座: Viton TM (可选: Noeprene TM)
密封材料: Byton TM (可选: 氯丁橡胶)
连接: 1/4SWL,可选1/8SWL,1/4VCR和1/4RC
电气连接: 9针插座
控制信号: 0-5VDC
输出信号: 0-5VDC
电源地+15 VDC (±5%) 100 mA–15 VDC (±5%) 200 mA

 
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